来自希腊语 nanos, 小矮人，部分词源学家认为该词原义为小老头，小祖父，词源同 nana,nanny,-o, 阳性格后缀，参照 amigo,El Nino. 后用于科学数词十亿分之一。
该词的英语词源请访问趣词词源英文版：nano- 词源，nano- 含义。